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目前針對工業廢氣處理，有機廢氣處理的方法主要有物理法、化學法、生物法，包括吸附、直接燃燒、催化燃燒、化學氧化、生物濾池等處理手段，現階段目前針對有機廢氣處理工藝主要有：隔離法、燃燒法、吸收法、冷凝法、等離子低溫催化氧化法、吸附法等。

1、廢氣處理隔離法：是通過特種過濾材料，置放於廢氣外排過程，經機械隔離，從而達到廢氣治理效果。
優點：對霧狀膠煙治理效率高，無技術要求，操作簡單。
缺點：不能有效去除有機物，風阻大。

2、廢氣處理燃燒法：利用加熱高溫的方法，將有機廢氣直接燃燒處理，以達到廢氣凈化的目的。
優點：凈化效率高，可達95%以上。
缺點：需要大量熱能，需要消耗大量能源，也易在高溫下生成NOX等造成二次污染。

3、廢氣處理吸收法：利用吸收液與廢氣相互接觸，使廢氣中的有害物質溶入吸收液中，從而使廢氣得以凈化。吸收液另行處理。
優點：投資小，運行費用低，操作簡單。
缺點：處理效率低，不穩定，凈化效率不高，約為50%，難於達到相關環保要求，適合低濃度有機廢氣，有二次污染。

4、廢氣處理冷凝法：通過冷凝降溫，當溫度低于有害物質的凝結點時，氣態的有害物質轉化為液態，從空氣中分離出來，從而凈化。
優點：運行穩定，凈化效率高。
缺點：投資較大，對環境及操作人員要求較高，且能耗過大，運行費用高。

5、等離低溫催化氧化法：等離子體是物質存在的除固態、液態、氣態之外的第四種狀態，具有宏觀度內的電中性與高導電性。等離子體中含有大量的活性電子、離子、激發態粒子和光子等。這些活性粒子和氣體分子碰撣的結果，產生大量的強氧化性自由基O·、OH·、HO2 和氧化性很強的O3;有機物分子受到高能電子碰撞，被激發及原子健斷裂而形成小碎片基團或原子;O·、OH·、HO2、O3等與激發原子、有機物分子、基團、自由基等反應，使有機物分子氧化降解為CO、CO2和HO2。
優點：廣泛適用性，適合于處理低濃度(〈1～1000ppm〉)、劇毒劇臭的有害氣體，彌補了其他技術無法處理的空白。以及操作簡單。
缺點：單獨的低溫等離子體技術在處理有害氣體時還是有其欠缺的地方，如不能完全徹底地把有害氣體轉化為無害氣體，副產物較多;且在氧等離子體下產生大量的臭氧;能耗較高;脫除效率較低等。

6、活性炭吸附裝置吸附法：利用多孔性的活性炭、硅澡土、無煙煤等分子級的大表面剩余能，將有機氣體分子吸附到其表面，從而凈化。
優點：處理效率高(活性炭吸附可達99%以上)，適用廣泛，操作簡單，投資費用低，運行費用相對較低。
缺點：系統風壓損失大，吸附劑的飽和點難掌握，吸附劑容量有限。

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